目前已經廣泛運用的清洗辦法首要有濕法清洗和干法清洗。濕法清洗的局限性非常大，從對環境的影響、原材料的耗費及未來的開展考慮，干法清洗要明顯優于濕法清洗。其中開展較快和優勢明顯的是等離子體清洗。
等離子體是指電離氣體，是電子、離子、原子、分子或自由基等粒子組成的集合體。清洗時高能電子碰撞反應氣體分子，使之離解或電離，運用產生的多種粒子轟擊被清洗表面或與被清洗表面產生化學反應，從而有用地*各種污染物；還能夠改進材料本身的表面功用，如前進表面的潤濕功用和改進膜的粘著力等，這在許多運用中都是非常重要的。
經等離子清洗后器件表面是枯燥的，不需要再處理，能夠前進整個工藝流水線的處理效率；能夠使操作者遠離有害溶劑的損傷；等離子能夠深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完結清洗，因而不需要過多考慮被清洗物件的形狀；還能夠處理各種質料，特別合適不耐熱以及不耐溶劑的質料。這些利益，都使等離子體清洗得到廣泛重視。
等離子清洗分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗。針對不同的清洗對象可挑選O2、H2和Ar等藝氣體進行短時間的表面處理。
1.1化學反應為主的清洗
運用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機物等做化學反應，又稱PE。選用氧氣進行清洗，使非揮發性的有機物變成易揮發的形狀，產生二氧化碳、一氧化碳和水。化學清洗的利益是清潔速度高、挑選性好和對清洗有機污染物比較有用，首要缺點是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引線鍵合工藝中，氧化物是不希望有的，這些缺點能夠通過恰當挑選工藝參數進行防止。
1.2物理反應為主的清洗
運用等離子體里的離子做純物理的碰擊，把材料表面附著的原子打掉，也稱為濺射腐蝕（SPE）。選用氬氣進行清洗，氬離子以足夠的能量轟擊器件表面，碰擊力足以去除任何塵垢。聚合物中的大分子化學鍵別離成小分子而汽化，通過真空泵排出。一同通過氬等離子清洗后，能夠改動材料表面的微觀形狀，使材料在分子級范圍內變得更加“粗糙”，可大幅改進表面活性，前進表面的粘結性能。氬等離子的利益是收拾材料表面不會留下任何氧化物。缺點是可能產生過量腐蝕或污染物顆粒重新積累在其他不希望的區域，但是這些缺點可通過細調工藝參數得到操控。
1.3物理化學反應一同存在的清洗
反應中物理反應與化學反應均起重要作用的清洗。如選用Ar和O2的混合氣體進行在線式等離子清洗過程時，反應速率比單獨運用Ar或O2都要快。氬離子被加快后，產生的動能又能前進氧離子的反應才干，因而用物理化學辦法可*污染較為嚴峻的材料表面。
