等離子清洗機是等離子表面改性的其中較為常見的一種方式。它采用不銹鋼材質的腔體，內置電極板不產生污染其他結構，如艙體、閥體，管路采用耐用防腐蝕材料。適用于實驗室科研、小批量生產，是小部件納米清洗、表面活化、表面改性等，如下：
1.表面清潔；
2.表面活化；
3.鍵合；
4.去膠；
5.金屬還原；
6.表面刻蝕；
7.去除表面有機物；
8.疏水實驗；
9.鍍膜前處理等。
等離子清洗機的優點在哪里？
1、采用電容式等離子激發，產生的等離子體分布均勻，能確保材料處理過程效果好及可重復性；
2、采用彩色觸摸屏+PLC全自動控制,根據處理不同的材料設置在線清洗功能，修改監控真空壓力，處理時間，等離子功率等工藝參數。傻瓜式設備，操作簡單快捷，可一鍵啟動，連續重復運行，J確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數,程序內設多項安全保護，防止誤操作，對人和儀器做到最大保護；
3、設備具有手動、自動兩種模式任意切換，手動模式用于實驗工藝的模擬及設備維護校準。
4、可預置多個實驗參數，簡化操作，提高效率。編好程序自動完成整個實驗過程；
5、使用成本低，無需進行特殊維護，在日常使用中保持儀器清潔即可。
從機理上看等離子清洗機在清洗時，利用工作氣體在電磁場的作用下所激發的等離子與物體表面產生物理反應和化學反應。其中物理反應機制是活性粒子轟擊材料表面，使污染物脫離表面而被真空泵吸走；化學反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發性的物質，再由真空泵吸走從而達到清洗目的。
