紫外臭氧清洗機是一種快速干法表面清洗工具.其原理是利用紫外光子對有機物質所起的光敏氧化作用，以達到清洗粘附在物體表面上的有機化合物(碳氫化臺物)的目的。是清除硅、砷化鎵、石英、藍寶石、玻璃、云母、陶瓷、金屬等表面有機污染物的安全、*的方法。
除清洗外，該清洗機還可用于表面改質，如通過紫外處理后,涂層與表面的粘附力可大大增加,并可用于生物芯片制作過程中PDMS鍵合于表面改質，如通過紫外處理后，涂層與表面的粘附力可大大增加，并可用于生物芯片制作過程中PDMS鍵合等。
紫外臭氧清洗機有哪些優點：
1、被清洗的表面除了光子，不與任何物體發生接觸，有機物經過紫外光照射發生光敏氧化反應后，生成可揮發性氣體(CO2、CO、H2O等)從表面消散,隨著排風系統抽走。
2、表面潔凈度高，且不會像溶液清洗時發生二次污染。
3、光清洗的表面不會受到損傷，由于光子的能量相對比氬等離子體濺射或惰性氣體離子轟擊的能量小，光清洗后的表面不會受到損傷或發生晶體缺陷的現象。
后的表面不會受到損傷或發生晶體缺陷的現象.
4、光清洗對物體表面微細部位(如孔穴、微細溝槽等)具有有效而*的清洗效果。由于紫外光是納米短波紫外線，能夠射入材料表面的極為細微的部位,發生光敏氧化反應，充分表現出光清洗的*性。
